特許

J-GLOBAL ID：200903096522232893

非破壊検査用センサ及びその製造方法

発明者： ▲浜崎▼ 幸夫 ,  根田 徳大
出願人/特許権者： 東京瓦斯株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 弘男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-237519
公開番号（公開出願番号）：特開平8-101167
出願日： 1994年09月30日
公開日（公表日）： 1996年04月16日
要約：

【要約】【目的】 如何なる表面形状の測定対象物に対しても、被測定表面からセンサの検出部までのリフトオフ量をどの部分でもほぼ0になるように密接させることができる非破壊検査用センサ及びその製造方法を提供することである。【構成】 本発明の非破壊検査用センサ2は、測定対象物1の表面形状に沿って変形させることができるフレキシブルなシート基板5と、該基板上に微細加工技術を用いて形成された磁気検知部としての扁平状のマイクロコイル6及び/または7とを具備し、その製造方法は金属製の支持基板上にフレキシブルシート基板を形成することと、該フレキシブルシート基板上に微細加工技術を用いて一対のパッド部が前記支持基板に接続するようにマイクロコイル装置を形成することと、このマイクロコイル装置の表面に保護膜を形成することと、前記一対のパッド部に対応する部分にコンタクトがそれぞれ形成されるように前記支持基板にウエットエッチングを施すことの各ステップを含んでいる。

請求項（抜粋）：

測定対象物の表面形状に沿って変形させることができるフレキシブルな基板と、該基板上に形成された磁気検知部としての扁平状のマイクロコイルとを具備することを特徴とする非破壊検査用センサ。

IPC (3件)：

G01N 27/83 ,  G01R 33/02 ,  H01F 5/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 渦電流表面測定配列
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-111359   出願人：ゼネラル・エレクトリツク・カンパニイ
• 特開平4-217322
  
• 特開平4-217322