静電容量式センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山川政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-160420
公開番号（公開出願番号）：特開平11-351978
出願日： 1998年06月09日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：

【要約】【課題】静電容量式センサを小型化するときのオフセットを低減する。【解決手段】一方の電極は電極引出部12と突出部14とを含み、他方の電極は第1及び第2の切欠部24,25を有し、第1及び第2の切欠部24,25の寸法及び配置並びに突出部14の長さは最大位置決め誤差に基づいて決定される。

請求項（抜粋）：

被検出量の変化に応じて変位する可動電極と、この可動電極と離間して配置された固定電極とを備え、前記二電極の対向する部分で容量が形成される静電容量式センサにおいて、前記各電極のそれぞれは、前記各電極と平行な方向に生ずる位置決め誤差により、他の前記電極との対向面積が増加する部分と減少する部分とを備え、前記増加する部分と前記減少する部分とが同一面積であることを特徴とする静電容量式センサ。

IPC (3件)：

G01L 1/14 , G01K 7/34 , G01L 9/12

FI (3件)：

G01L 1/14 A , G01K 7/34 , G01L 9/12

引用特許：

出願人引用 (5件)

静電容量式センサー
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-228805 出願人：ニッタ株式会社
静電容量型重量センサ素子およびその製造法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-168908 出願人：松下電器産業株式会社
特開昭61-221631

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