特許
J-GLOBAL ID：200903096538264868

テトラカルボン酸二無水物、その誘導体及び製造法、ポリイミド前駆体、ポリイミド、樹脂組成物、感光性樹脂組成物、レリーフパターンの製造法、並びに電子部品

発明者：
新井 則義

新井 則義 について

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鍛治 誠

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佐々木 顕浩

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萩原 俊紀

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出願人/特許権者：
日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社

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代理人 (1件)： 穂高 哲夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-308397
公開番号（公開出願番号）：特開2000-281671
出願日： 1999年10月29日
公開日（公表日）： 2000年10月10日
要約：
【要約】【課題】 新規なテトラカルボン酸二無水物を提供すること、並びに、高i線透過性を有し、イミド化後には高耐熱性を有するポリイミド前駆体を提供するとともに、このポリイミド前駆体を用い、電子部品の表面保護膜、層間絶縁膜の形成に用いられる感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 4-アルキルフタル酸無水物の5位を臭素化した後、臭素化生成物をニッケル触媒を用いてカップリングさせることにより、6,6′-ジアルキル-3,3′,4,4′-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を製造する。一般式(7)で示される繰り返し単位を有するポリイミド前駆体を含有する感光性樹脂組成物を基板に塗布し、i線に露光し、現像し、加熱することにより、一般式(11)で示される繰り返し単位を有するポリイミドからなるレリーフパターンを製造する。【化1】(式中、Yは二価の有機基、R7及びR8はOH又は一価の有機基、R9及びR10は一価の炭化水素基、R11、R12及びR13は一価の炭化水素基、a及びbは0〜2の整数、cは0〜4の整数、mは0〜3の整数である。)
請求項（抜粋）：
一般式(1)【化1】(式中、R1及びR2は、各々独立にアルキル基を表す。)で示される6,6′-ジアルキル-3,3′,4,4′-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物。
IPC (5件)：
C07D307/89 ,  C07C 63/16 ,  C07C 69/80 ,  C08G 73/10 ,  G03F 7/037 501
FI (5件)：
C07D307/89 Z ,  C07C 63/16 ,  C07C 69/80 Z ,  C08G 73/10 ,  G03F 7/037 501
Fターム (128件)：
2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA10 ,  2H025AA13 ,  2H025AA20 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BC13 ,  2H025BC69 ,  2H025BC83 ,  2H025BE01 ,  2H025CA00 ,  2H025CB25 ,  2H025CB41 ,  2H025CC03 ,  2H025FA29 ,  4C037RA11 ,  4H006AA01 ,  4H006AB46 ,  4H006AB76 ,  4H006AB78 ,  4H006BJ50 ,  4H006BS30 ,  4H006BS80 ,  4H006FC52 ,  4J043PA02 ,  4J043PA04 ,  4J043PA19 ,  4J043PC015 ,  4J043PC016 ,  4J043PC065 ,  4J043PC066 ,  4J043PC085 ,  4J043PC086 ,  4J043PC145 ,  4J043PC146 ,  4J043QB15 ,  4J043QB23 ,  4J043QB26 ,  4J043QB31 ,  4J043QB34 ,  4J043RA35 ,  4J043RA39 ,  4J043SA43 ,  4J043SA44 ,  4J043SA54 ,  4J043SA62 ,  4J043SA71 ,  4J043SA72 ,  4J043SB01 ,  4J043SB02 ,  4J043SB03 ,  4J043TA14 ,  4J043TA17 ,  4J043TA22 ,  4J043TA26 ,  4J043TA31 ,  4J043TA35 ,  4J043TA67 ,  4J043TA68 ,  4J043TB01 ,  4J043TB02 ,  4J043UA121 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA142 ,  4J043UA151 ,  4J043UA152 ,  4J043UA162 ,  4J043UA221 ,  4J043UA222 ,  4J043UA231 ,  4J043UA232 ,  4J043UA261 ,  4J043UA262 ,  4J043UA362 ,  4J043UA662 ,  4J043UA672 ,  4J043UB011 ,  4J043UB021 ,  4J043UB022 ,  4J043UB061 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043UB131 ,  4J043UB132 ,  4J043UB151 ,  4J043UB152 ,  4J043UB281 ,  4J043UB301 ,  4J043UB302 ,  4J043UB351 ,  4J043UB352 ,  4J043UB401 ,  4J043UB402 ,  4J043VA011 ,  4J043VA012 ,  4J043VA021 ,  4J043VA022 ,  4J043VA031 ,  4J043VA032 ,  4J043VA041 ,  4J043VA051 ,  4J043VA061 ,  4J043VA062 ,  4J043VA072 ,  4J043VA081 ,  4J043VA091 ,  4J043VA092 ,  4J043VA101 ,  4J043VA102 ,  4J043XA14 ,  4J043XA15 ,  4J043XA16 ,  4J043XA19 ,  4J043YA23 ,  4J043YB07 ,  4J043YB08 ,  4J043YB19 ,  4J043YB31 ,  4J043YB32 ,  4J043ZA46 ,  4J043ZB02 ,  4J043ZB03 ,  4J043ZB22 ,  4J043ZB50
引用特許：
審査官引用 (2件)

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