特許

J-GLOBAL ID：200903096540400051

ワークグリップ機構

発明者： 磯部 章 ,  冨田 良幸 ,  原 一敬 ,  岩瀬 昭雄 ,  前田 盛男
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社
代理人 (1件)： 金井 英幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-036299
公開番号（公開出願番号）：特開2001-225292
出願日： 2000年02月15日
公開日（公表日）： 2001年08月21日
要約：

【要約】【課題】 ワークを傷つけずに保持するワークグリップ機構を、提供する。【解決手段】 ワークWのエッジに沿った形状の一対のグリップ11,11を、アームMの先端に夫々回転可能に取り付けた。各グリップ11,11の先端にはフィンガーロール部12を設け、基端近傍には押えロール部13を設けた。各押さえロール部13,13は、そのロール132によりワークWのエッジを押す。押されたワークWは、そのエッジを各フィンガーロール部12,12のロール122に当て付ける。ワークWは、各フィンガーロール部12,12のロール122,及び各押えロール部13,13のロール132によって確実に保持される。但し、ワークWは、各押さえロール部13,13のねじりコイルバネ133による設定力以上の力で押されることがないので、破損することがない。

請求項（抜粋）：

長尺状に形成された一対のグリップと、前記各グリップを、同一平面内で回転自在に夫々軸支する基部とを備え、円板状に形成されたワークのエッジにおける半周以上の領域に対向可能なワークグリップ機構であって、前記各グリップの先端に夫々配置され、前記ワークのエッジに嵌合可能な保持溝が外周に形成された第1のロールを有するとともに、この第1のロールを当該グリップの回転軸に対して平行な回転軸において軸支する一対のフィンガーロール部と、前記ワークのエッジに嵌合可能な保持溝が外周に形成された第2のロールを有し、この第2のロールを前記グリップの回転軸に対して平行な回転軸において軸支するとともにその保持溝を前記ワークのエッジに嵌合させた状態で、このワークが前記各フィンガーロール部の第1のロールを押すように、当該第2のロールを付勢する押えロール部と、前記各グリップが、前記各フィンガーロール部の第1のロール同士を前記ワークの直径以上の間隔をあけるように離反させた開状態,又は,前記押えロール部の第2のロールを前記ワークのエッジに押し付けるとともにこのワークのエッジを前記各フィンガーロール部の第1のロールに突き当てた閉状態をとるように、当該各グリップを夫々回転変位させる開閉駆動部とを備えたことを特徴とするワークグリップ機構。

IPC (4件)：

B25J 15/08 ,  B65G 49/06 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

B25J 15/08 D ,  B25J 15/08 P ,  B65G 49/06 A ,  B65G 49/07 E ,  H01L 21/68 A

Fターム (29件)：

3C007DS01 ,  3C007ES03 ,  3C007ET03 ,  3C007EU08 ,  3C007EU14 ,  3C007EV07 ,  3C007EV08 ,  3C007EV23 ,  3C007NS09 ,  3C007NS11 ,  3C007NS17 ,  3F061AA01 ,  3F061BA03 ,  3F061BB03 ,  3F061BC11 ,  3F061BD10 ,  3F061BE12 ,  3F061BE13 ,  3F061BE43 ,  3F061DB00 ,  3F061DB04 ,  3F061DB06 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031GA13 ,  5F031GA14 ,  5F031GA15 ,  5F031PA20

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ウェハ側面把持移送半導体製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-316803   出願人：財団法人韓国電子通信研究所
• 特開平1-286187
  
• 特開平1-286187