特許
J-GLOBAL ID：200903096544401583
エキシマ照射装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
石川 泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-138490
公開番号（公開出願番号）：特開2000-331649
出願日： 1999年05月19日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：
【要約】【課題】 多本数のエキシマランプを備えた場合であっても、温度上昇の抑制を達成することができる大面積照射形のエキシマ照射装置を提供する。【解決手段】 二以上のエキシマランプ4を備えるエキシマ照射部2と、エキシマランプ4に高周波電圧を印加する電源部3とからなるエキシマ照射装置1であって、エキシマ照射部2は、エキシマランプ4から発生するエキシマ光を透過する照射面5と、照射面5の反対面に設けられてエキシマ光を反射する反射面6とを有し、エキシマランプ4は、放電管と、当該放電管の内側に配置される内部管と、前記放電管内に充填される放電用ガスと、前記放電管の外側に配置される外部電極と、前記内部管の内側に配置される内部電極とを有し、反射面5には、冷却および充填用ガス8の吹付口7を設け、前記内部管には、冷却用ガスの導入口36を設けることによって、上記課題を解決した。
請求項（抜粋）：
二以上のエキシマランプを備えるエキシマ照射部と、前記エキシマランプに高周波電圧を印加する電源部とからなるエキシマ照射装置であって、前記エキシマ照射部は、前記エキシマランプから発生するエキシマ光を透過する照射面と、当該照射面の反対面に設けられて前記エキシマ光を反射する反射面とを有し、前記エキシマランプは、放電管と、当該放電管の内側に配置される内部管と、前記放電管内に充填される放電用ガスと、前記放電管の外側に配置される外部電極と、前記内部管の内側に配置される内部電極とを有し、前記反射面には、冷却および充填用ガスの吹付口が設けられ、前記内部管には、冷却用ガスの導入口が設けられていることを特徴とするエキシマ照射装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 65/00 A
, B01J 19/12 Z
4G075AA30
, 4G075AA37
, 4G075BA05
, 4G075BC10
, 4G075CA03
, 4G075CA15
, 4G075CA25
, 4G075CA33
, 4G075CA63
, 4G075EB31
, 4G075EB33
, 4G075EC21
, 4G075FB02
, 4G075FB06
出願人引用 (3件)
-
特開平4-301357
-
特開平3-174243
-
基板処理装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平7-269491
出願人：大日本スクリーン製造株式会社
審査官引用 (3件)
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特開平4-301357
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特開平3-174243
-
基板処理装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平7-269491
出願人：大日本スクリーン製造株式会社
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