特許
J-GLOBAL ID：200903096554410556

有機金属前駆体化合物

発明者：
メイアー、スコット、ヒューストン

メイアー、スコット、ヒューストン について


出願人/特許権者：
プラクスエア・テクノロジー・インコーポレイテッド

プラクスエア・テクノロジー・インコーポレイテッド について


代理人 (4件)： 浅村 皓 ,  浅村 肇 ,  安藤 克則 ,  池田 幸弘
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-533531
公開番号（公開出願番号）：特表2008-514605
出願日： 2005年09月16日
公開日（公表日）： 2008年05月08日
要約：
本発明は、式(H)mM(R)n[式中、Mは金属又はメタロイドであり、Rは、同じか又は異なり、置換又は非置換、飽和又は不飽和の、少なくとも1個の窒素原子を含む複素環基であり、mは0からMの酸化状態未満の値であり、nは1からMの酸化状態に等しい値であり、m+nはMの酸化状態に等しい値である]で表される有機金属前駆体化合物、この有機金属前駆体化合物を製造する方法、及びこの有機金属前駆体化合物から被膜又はコーティングを製造する方法に関する。
請求項（抜粋）：
式(H)mM(R)n[式中、Mは金属又はメタロイドであり、Rは、同じか又は異なり、置換又は非置換、飽和又は不飽和の、少なくとも1個の窒素原子を含む複素環基であり、mは0からMの酸化状態未満の値であり、nは1からMの酸化状態に等しい値であり、m+nはMの酸化状態に等しい値であり、但し、MがSiであり、nが4である場合は、Rは非置換ピロリジニル以外である]で表される有機金属前駆体化合物。
IPC (2件)：
C07F 7/10 ,  C23C 16/18
FI (2件)：
C07F7/10 S ,  C23C16/18
Fターム (15件)：
4H049VN01 ,  4H049VP01 ,  4H049VQ59 ,  4H049VR54 ,  4H049VS12 ,  4H049VT03 ,  4H049VU34 ,  4H049VW02 ,  4K030AA06 ,  4K030AA11 ,  4K030BA29 ,  4K030BA44 ,  4K030CA04 ,  4K030FA10 ,  4K030LA15
引用特許：
審査官引用 (2件)
引用文献：
審査官引用 (12件)
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