光照射装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大井正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-304385
公開番号（公開出願番号）：特開2007-115817
出願日： 2005年10月19日
公開日（公表日）： 2007年05月10日
要約：

【課題】光源部を構成する密接状態に配列された複数の光源ユニットの各々が確実に冷却可能とされたものでありながら、光源部それ自体の小型化が図られ、十分に高い光強度が得られる光照射装置を提供すること。【解決手段】本発明の光照射装置は、超高圧水銀ランプと反射鏡とを具えてなる光源ユニットの複数が、光照射方向から見たときに密接状態に縦横に並ぶよう配置された光源部を有し、当該光源ユニットの各々からの光が光照射領域において重ね合わせられて照射されるものにおいて、光源部においては、光照射方向から見たときに互いに隣接して見える一方の光源ユニットが、他方の光源ユニットにおける反射鏡の背面から光照射方向後方側に位置されて、光照射方向前方側に位置される光源ユニットにおける反射鏡の背面と、光照射方向後方側に位置される光源ユニットの前端面との間に空隙が形成された状態とされていることを特徴とする。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

発光管内に0.08mg/mm3 以上の水銀が封入されてなる超高圧水銀ランプと、当該超高圧水銀ランプの管軸と光軸が略一致した状態で当該超高圧水銀ランプを取り囲むよう配置された反射鏡とを具えてなる光源ユニットの複数が、光照射方向から見たときに密接状態に縦横に並ぶよう配置された光源部を有し、当該光源ユニットの各々からの光が光照射領域において重ね合わせられて照射される光照射装置において、光源部においては、光照射方向から見たときに互いに隣接して見える一方の光源ユニットが、他方の光源ユニットにおける反射鏡の背面から光照射方向後方側に位置されて、光照射方向前方側に位置される光源ユニットにおける反射鏡の背面と、光照射方向後方側に位置される光源ユニットの前端面との間に空隙が形成された状態とされていることを特徴とする光照射装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , H01J 61/20 , F21V 29/00 , F21S 2/00

FI (5件)：

H01L21/30 515C , H01J61/20 U , F21M7/00 K , F21M1/00 M , F21V29/00 A

Fターム (18件)：

3K014AA01 , 3K014LA01 , 3K014LB02 , 3K042AA01 , 3K042BA09 , 3K042BB01 , 3K042BC01 , 3K042CC04 , 3K243AA01 , 3K243BA09 , 3K243BB01 , 3K243BC01 , 3K243CC04 , 5F046CA02 , 5F046CA06 , 5F046CA10 , 5F046DA01 , 5F046DA26

引用特許：

出願人引用 (1件)

露光用照明装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-161233 出願人：株式会社目白ゲノッセン

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