特許
J-GLOBAL ID：200903076825662423
露光用照明装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
津国 肇
, 篠田 文雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-161233
公開番号（公開出願番号）：特開2004-361746
出願日： 2003年06月05日
公開日（公表日）： 2004年12月24日
要約：
【課題】露光すべき基板等の被照射体の大きさが大きくなったときでも、十分な出力で的確に光を照射することができるとともに、光源から発せられた光を有効に活用して、基板の生産性を高く維持できる露光用照明装置を提供する。【解決手段】複数の光源部の各々から発せられた光の各々は、入射面に向かって進むに従って発散する発散光であり、かつ、発散光の全てを入射面に入射させる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
発光部と前記発光部から発せられた光に指向性をもたせて出射する反射光学系とを含む複数の光源部と、前記光源部の各々から出射された光が入射される入射面と入射された光が導びかれて前記複数の発光部の各々の像が形成されるとともに導かれた光を出射する出射面とを含むインテグレーター光学素子と、を含む露光用照明装置であって、
前記複数の光源部の各々から出射された光の各々は、前記入射面に向かって進むに従って発散する発散光であり、かつ、
前記発散光の各々が前記入射面に入射する領域の大きさが、前記入射面よりも小さいことを特徴とする露光用照明装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (3件)：
2H097CA03
, 2H097CA06
, 2H097LA12
