特許

J-GLOBAL ID：200903096565687606

洗浄装置及び洗浄方法

発明者： 田中 秀哉 ,  宮本 健一 ,  久保田 稔 ,  ウォルター スワンソン
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 金本 哲男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-332291
公開番号（公開出願番号）：特開平10-209094
出願日： 1997年11月18日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：

【要約】【課題】 洗浄部材を常に清浄に保ちながら、洗浄部材と被洗浄体表面との接触圧を均一にし、洗浄部材の洗浄効果を高める。【解決手段】 洗浄スポンジ33における洗浄面側の周縁部外方を凸に湾曲させ、この洗浄スポンジ33の内部から外方に向け洗浄液を吐出させる構成とする。ウエハWを洗浄していない時の待機位置にある洗浄液貯留槽39において、洗浄スポンジ33を浸漬し、同時にこの洗浄スポンジ33の内部から外方に向けて洗浄液を吐出する。この時、超音波発振子38で洗浄液貯留槽39内の洗浄液を励振する。

請求項（抜粋）：

回転する被洗浄体の被洗浄面に洗浄液を供給すると共に、前記被洗浄面に洗浄部材を接触させて、被洗浄体を洗浄する装置において、前記洗浄部材における前記被洗浄面側の周縁部は外方に凸に湾曲した形状であることを特徴とする、洗浄装置。

IPC (3件)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  B08B 1/04

FI (3件)：

H01L 21/304 341 B ,  H01L 21/304 341 N ,  B08B 1/04

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 洗浄用スポンジブラシ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-239237   出願人：株式会社芝浦製作所