アクティブマトリックス液晶表示装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鵜沼辰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-198738
公開番号（公開出願番号）：特開平6-043489
出願日： 1992年07月24日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：

【要約】【目的】アクティブマトリックス液晶表示装置において、TFTの陽極化成ゲート絶縁膜の知密化を図り、装置の信頼性の向上を図る。【構成】透明ガラス基板上に形成されたゲート電極2と、その端子ゲート電極2の下地を兼ねる取り出し電極10との2層電極を陽極化成することにより成長したゲート絶縁膜3Aにおいて、ゲート電極2は主成分のAlに、IVA族のTi,Zr,Hf、VA族のV,Nb,Taの異種金属から選択した一つの元素を添加した材料で構成し、また端子取り出し電極10は前記異種金属から選択した一つの元素の材料から構成した。【効果】ゲート電極でのヒロック、ホイスカの発生を防止でき、TFTの信頼性を向上できる。

請求項（抜粋）：

透明ガラス基板上に形成された走査信号線と;走査線信号線から延びてなる端子取り出し電極と;前記走査信号線に直交する方向に該走査信号線と絶縁して形成された映像信号線と;前記走査線信号線から分枝してなるゲート電極、該ゲート電極上に絶縁層を介して順次形成された半導体層、及び対となるソース電極及びドレイン電極からなり、該ドレイン電極が前記映像信号線に接続する薄膜トランジスタと、前記絶縁層上に形成され前記ソース電極と接続された画素電極と、該画素電極に一方の電極を接続された保持容量素子と、前記画素電極に一方の電極を接続された液晶容量素子とを有する画素と;を備えたアクティブマトリックス液晶表示装置において、前記ゲート電極及び前記走査信号線は、主成分となる母材金属に異種金属を添加した金属材料からなり、該異種金属の標準電極電位は負の値を持ち、かつ前記母材金属に異種金属を添加した金属材料の酸化物の標準電極電位は負の値を持つことを特徴とするアクティブマトリックス液晶表示装置。

IPC (3件)：

G02F 1/136 500 , G02F 1/1343 , H01L 29/784

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-116524
特開平2-240636
特開平3-274029

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