特許

J-GLOBAL ID：200903096642008148

微小薄膜可動素子および微小薄膜可動素子アレイ並びに微小薄膜可動素子アレイの駆動方法

発明者： 望月 文彦 ,  荻窪 真也 ,  中村 博親
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (5件)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光 ,  高松 猛 ,  矢澤 清純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-215925
公開番号（公開出願番号）：特開2007-033787
出願日： 2005年07月26日
公開日（公表日）： 2007年02月08日
要約：

【課題】 プルイン時に発生する振動を低減して、振動の鎮静化までの時間を大幅に短縮できる微小薄膜可動素子および微小薄膜可動素子アレイ並びに微小薄膜可動素子アレイの駆動方法を提供し、微小薄膜可動素子動作の高速化を図る。【解決手段】 弾性変位可能に支持され少なくとも一部に可動電極28を有する可動部と、可動部に対峙して配置された固定電極とを有し、可動電極28と固定電極35a、35bに印加する電圧に応じた静電気力によって可動部27を変位させる微小薄膜可動素子100であって、可動電極28と固定電極35a、35bに印加する電圧を、静的プルイン電圧と等しくまたはそれより小さく、かつ最小動的プルイン電圧と等しくまたはそれより大きい範囲に設定した。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

弾性変位可能に支持され少なくとも一部に可動電極を有する可動部と、該可動部に対峙して配置された固定電極とを有し、前記可動電極と前記固定電極に印加する電圧に応じた静電気力によって前記可動部を変位させる微小薄膜可動素子であって、 前記可動部を変位させる際に印加する電圧が、前記可動部の変位量に応じて発生する抵抗力に抗して前記可動部を前記固定電極側に接触させる静的プルイン電圧以下であり、かつ、前記可動部の動作に応じて発生する慣性力と併せて前記可動部を前記固定電極側に接触させる最小動的プルイン電圧以上の範囲にあることを特徴とする微小薄膜可動素子。

IPC (1件)：

G02B 26/08

FI (1件)：

G02B26/08 E

Fターム (4件)：

2H041AA14 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ05

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 空間光変調器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-097041   出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
• 特開平2-7014号公報