特許
J-GLOBAL ID：200903096647873939

半導体センサ、放射線検出器及び放射線モニタ

発明者：
浜口 広基

浜口 広基 について

, 
中西 正一

中西 正一 について

, 
茂木 健一

茂木 健一 について


出願人/特許権者：
三菱電機株式会社

三菱電機株式会社 について


代理人 (4件)： 村上 啓吾 ,  大岩 増雄 ,  児玉 俊英 ,  竹中 岑生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-047263
公開番号（公開出願番号）：特開2008-209294
出願日： 2007年02月27日
公開日（公表日）： 2008年09月11日
要約：
【課題】振動や静電気の影響を軽減して信頼性の高い半導体センサ、放射線検出器及び放射線モニタを得る。【解決手段】放射線を検出する半導体素子11の負及び正電極12a,12bに絶縁物15を介して対向して導電層16a,16bが設けられ、シールドケース3と導電層16a,16bが0V電圧で同電位に固定されているので、シールドケース3と導電層16a,16b間の浮遊容量が小さくなる。従って、半導体センサ1の振動によりシールドケース3と導電層16a,16bとの間隔が微量に変化しても半導体センサ1の対地浮遊容量がほとんど変動しないため、振動ノイズのない信頼性の高い半導体センサ1を得ることができる。また、放射線検出器10は半導体センサ1と前置増幅器2がシールドケース3に収容して構成しているので、外部電磁ノイズの影響を低減できる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
一方の面に負電極を反対側の面に正電極を有し放射線を検出して電気信号を出力する半導体素子と、上記負電極及び上記正電極の表面に設けられた絶縁物と、上記絶縁物の表面に設けられ外部と電気的に接続しうるようにされた導電層とを備えた半導体センサ。
IPC (2件)：
G01T 1/24 ,  H01L 31/09
FI (2件)：
G01T1/24 ,  H01L31/00 A
Fターム (19件)：
2G088EE06 ,  2G088FF04 ,  2G088FF05 ,  2G088FF06 ,  2G088GG21 ,  2G088JJ01 ,  2G088JJ09 ,  2G088JJ33 ,  2G088JJ35 ,  2G088JJ37 ,  2G088KK05 ,  2G088LL11 ,  2G088LL23 ,  5F088AA11 ,  5F088BA11 ,  5F088BB06 ,  5F088FA05 ,  5F088JA20 ,  5F088LA07
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 半導体放射線検出器
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-277198   出願人：富士電機株式会社
  • 特開平4-303787(段落番号0011、0012及び図1)
審査官引用 (5件)
  • 特開昭57-193072
  • X線平面検出装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-186846   出願人：株式会社東芝
  • 2次元X線検出器
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-280774   出願人：東芝メディカルエンジニアリング株式会社, 株式会社東芝
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