特許
J-GLOBAL ID：200903096649062407
中央通路を有する多孔性基材を高密度化するための化学蒸気浸透法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
青山 葆
, 山本 宗雄
, 西下 正石
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-570796
公開番号（公開出願番号）：特表2004-527655
出願日： 2002年03月06日
公開日（公表日）： 2004年09月09日
要約：
本発明は、中央通路を有する多孔性基材を高密度化するための化学蒸気浸透法に関する。本発明において、環状基材(20)は、エンクロージャー内に積み重ねられており、エンクロージャーは内部体積(24)と前記基材のスタックの外側の外部体積(26)とを包含する。前記基材のポア内に堆積されるマトリックス材料の前駆体を少なくとも1種含有するガスが、エンクロージャー内部の前記2つの体積のうち最初の体積(24)に導かれ、そして残留ガスが、もう一方の体積(26)から採取されてエンクロージャーから出る。前記基材を通して以外に、前記2つの体積は、1以上の漏出通路(22)で互いに通じている。漏出通路の総断面積は、最初の体積内の最大ガス圧が高密度化終了時まで超えないことを確実にするための最小値と、ある圧力差が高密度化の開始時から前記体積間で事実上確立されるような最大値の間の値を示す。
請求項（抜粋）：
-1以上の基材をエンクロージャーの内部に配置して、該エンクロージャー内に、基材の中央通路または一列に並べた複数の基材の中央通路によって本質的に形成される内部体積と、前記基材の外面によって本質的に形成される外部体積とを定義する工程、
-該基材を介して以外に前記体積を互いに通じさせる少なくとも1の漏出通路を任意に配置する工程、
-マトリックス材料の少なくとも1種のガス状前駆体を含有するガスを前記エンクロージャー内に導入して、前記基材のポアに堆積させる工程、
-該ガスを内部および外部体積のうちの最初の体積に向かって導く工程であって、該最初の体積が、ガスを導入する端とは反対の端で閉じていること、および
-該ガスを前記基材のポアを通じて拡散しかつ前記漏出通路を通過させることによってエンクロージャー内部で最初の体積から二番目の体積へ流れさせて、残りのガスをエンクロージャーから、内部および外部体積のうちのもう一方のまたは二番目の体積から抜き取る工程
を含み、さらに
-前記ガスの圧力または該ガス中に含まれる前駆体の分圧に関する、最初の体積内での最大許容閾値を定義する工程、および
-漏出通路の総断面積に、高密度化プロセスの終了前に前記最大圧力値を超えないような最小値と、高密度化プロセスの開始時から最初の体積と二番目の体積の間に圧力差が確立されるような最大値との間にある値を与える工程
を特徴とする、中央通路を有する少なくとも1の基材を高密度化するための化学蒸気浸透法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (4件)：
4K030AA09
, 4K030BA27
, 4K030CA05
, 4K030JA09
