特許
J-GLOBAL ID：200903096650840480
液体噴射記録ヘッド
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石井 康夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-236821
公開番号（公開出願番号）：特開平11-078018
出願日： 1997年09月02日
公開日（公表日）： 1999年03月23日
要約：
【要約】【課題】 製造時の不良率を低減し、確実に気泡の排除効率を向上させ、気泡による画質欠陥の発生頻度を大幅に低減した液体噴射記録ヘッドを提供する。【解決手段】 チャネル基板には共通液室および個別流路となる溝が形成されており、ヒータ基板1には複数の発熱素子4が形成されるとともに、その上に厚膜樹脂層3が成層され、発熱素子4上部のピット6および共通液室8と個別流路5を連通させるバイパス流路7の部分が除去されている。共通液室8の端部の1ないし複数本のノズルはダミーノズル21とし、対応するダミー個別流路22ではダミーピット23の開口面積を他のピット6よりも大きくなるように樹脂を除去してある。ダミーピット23も凹部として形成されているので、製造時に厚膜樹脂層3の表面を平坦化するCMP処理を行なってもダミーピット23を隔てる分離壁が倒れることはなく、不良率を低減できる。
請求項（抜粋）：
2枚の基板が厚膜樹脂層を挟み込んで接合された液体噴射記録ヘッドにおいて、複数のノズルおよび該ノズルに連通する液体流路が配列され、配列された前記ノズルの列の少なくとも端部の1ないし複数のノズルをダミーノズルとし、該ダミーノズルに連通する液体流路をダミー液体流路とし、前記液体流路には前記厚膜樹脂層を一部除去した凹部としてピットが形成されており、前記ダミー液体流路に形成された前記ピットは、前記ダミー液体流路以外の前記液体流路に形成された前記ピットよりも開口面積が大きいことを特徴とする液体噴射記録ヘッド。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/04 103 B
, B41J 3/04 103 H
