特許
J-GLOBAL ID：200903096718729656
イオン発生装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-174316
公開番号（公開出願番号）：特開平11-025872
出願日： 1997年06月30日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：
【要約】【課題】 イオン発生装置において、アークチャンバー内のプラズマ密度及びプラズマ温度等の所要のイオンの収率に影響を及ぼす重要な要因を、アークチャンバー内で均一にする。【解決手段】 アークチャンバー7の上下両部にカソード13,14が配置され、カソードキャップ1,2とフィラメント3,4はアークチャンバー7の磁場方向に対称に配置されている。フィラメント3,4に直流電流を流すことにより、フィラメント3,4を加熱して熱電子5を発生させる。発生した熱電子5は、カソードキャップ1,2とフィラメント3,4との間の電圧により加速され、カソードキャップ1,2に流れ込み、カソードキャップ1,2を加熱する。カソードキャップ1,2は、熱電子反射機能も有する。加熱されたカソードキャップ1,2は、さらにアークチャンバー7内に熱電子6を供給し、これによりプラズマが発生して維持される。
請求項（抜粋）：
アークチャンバーの磁場方向の両側に熱電子発生源を配置したことを特徴とするイオン発生装置。
IPC (3件)：
H01J 27/14
, H01J 37/08
, H01J 37/317
H01J 27/14
, H01J 37/08
, H01J 37/317 Z
