特許
J-GLOBAL ID：200903096727079613
ダイヤモンドの改質方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-190511
公開番号（公開出願番号）：特開平11-026389
出願日： 1997年06月30日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：
【要約】【目的】 ダイヤモンドに不純物を導入した場合、熱によっては活性化されない不純物を活性化しキャリヤを解放して抵抗率の低い高品質ダイヤモンドを作製すること。【構成】 ダイヤモンドの中の炭素どうしの結合あるいは炭素と不純物の結合よりなる光学格子振動を励起するようにその格子振動のエネルギーにほぼ等しいエネルギーを持つ1種類または2種類の波長の赤外光を照射する。
請求項（抜粋）：
ダイヤモンドに不純物を含む領域を形成する工程と、ダイヤモンドの炭素原子間光学的格子振動モード或いは炭素原子と不純物原子の結合の手の光学的格子振動モードに等しいエネルギーの波長の光を前記不純物を含む領域に照射する工程を含むことを特徴とするダイヤモンドの改質方法。
引用特許：
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