特許

J-GLOBAL ID：200903096755163794

単層砥石

発明者： 下前 直樹 ,  山下 哲二 ,  尾久 雅治
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-354147
公開番号（公開出願番号）：特開2002-160168
出願日： 2000年11月21日
公開日（公表日）： 2002年06月04日
要約：

【要約】【課題】 超砥粒から破砕片が脱落し難く保持力が高く、被削材にスクラッチが生じるのを防ぐ。【解決手段】 台金22に、ろう材による下地金属結合層26とNiまたはNi基合金の電気めっきまたは無電解めっきによる被覆金属結合層28とからなる二層でダイヤモンドの超砥粒30を固着保持する。ろう材はAg-CuーTi粉末にSiO2を主成分とするガラス質材料の粉末を混合したもので、800°C程度で加熱して超砥粒をろう付けする。ガラス質材料はろう材中に10〜20wt%含む。800°C程度の比較的低温でろう付けし、超砥粒のグラファイト化を抑制してスクラッチの発生を防止する。ろう材に五酸化バナジウムV2O5を1wt%以下、P、Bを3wt%以下含んでいてもよい。

請求項（抜粋）：

AgとCuの粉末にSiO2を主成分とするガラス質材料の粉末を混合したものをろう材として、該ろう材に超砥粒を分散してろう付け固着した下地層を備えた単層砥石。

IPC (6件)：

B24D 3/06 ,  B24B 53/12 ,  B24D 3/00 310 ,  B24D 3/00 320 ,  B24D 3/02 ,  H01L 21/304 622

FI (6件)：

B24D 3/06 C ,  B24B 53/12 Z ,  B24D 3/00 310 D ,  B24D 3/00 320 B ,  B24D 3/02 A ,  H01L 21/304 622 F

Fターム (15件)：

3C047EE18 ,  3C047EE19 ,  3C063AA02 ,  3C063AB07 ,  3C063BA02 ,  3C063BA37 ,  3C063BB02 ,  3C063BC02 ,  3C063BC08 ,  3C063CC09 ,  3C063CC13 ,  3C063EE10 ,  3C063EE26 ,  3C063FF22 ,  3C063FF23

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 超砥粒砥石
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-297524   出願人：大阪ダイヤモンド工業株式会社
• 特開昭54-022596
  
• 特公昭49-018158
  
• 金属-セラミックス接合基板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-375809   出願人：同和鉱業株式会社, 旭テクノグラス株式会社