特許
J-GLOBAL ID：200903096762133760
顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-089548
公開番号（公開出願番号）：特開平9-281403
出願日： 1996年04月11日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：
【要約】【課題】本発明は、常に最適な応答速度により制御できる圧電アクチュエータを用いた顕微鏡を提供する。【解決手段】指令部21より圧電アクチュエータ91を駆動するための指令値が出力されると、前回の指令値と今回の指令値の差分よりステップ入力の振幅が求められ、このステップ入力の振幅により、ルックアップテーブル226より、この時のステップ入力の振幅に最適な制御ゲイン(P(比例)ゲインとI(積分)ゲイン)が読み出され、この制御ゲインを用いて、レボルバおよびステージ間の相対距離と前記指令手段の指令値との差分の制御偏差を考慮したPI制御演算により最適な応答速度が得られる圧電アクチュエータ91の制御量を演算する。
請求項（抜粋）：
試料観察用レンズおよびステージ間の相対距離を圧電アクチュエータの変位により制御するようにした顕微鏡において、前記圧電アクチュエータを駆動するための指令値を出力する指令手段と、予め前記指令手段の指令値に応じた最適な制御ゲインを格納した制御ゲイン格納手段と、前記指令手段の指令値に応じた最適な制御ゲインを前記制御ゲイン格納手段から読み込み、所定の制御演算に適用して前記圧電アクチュエータの制御量を演算する演算手段と、この演算手段より出力される制御量により前記圧電アクチュエータを駆動する駆動手段とを具備したことを特徴とする顕微鏡。
IPC (4件)：
G02B 21/26
, G01B 7/00
, G01B 11/00
, G05B 13/02
G02B 21/26
, G01B 7/00 C
, G01B 11/00 Z
, G05B 13/02 B
