特許
J-GLOBAL ID：200903096863705897

マスクとマスクまたはマスクとワークの位置合わせ方法および装置

発明者：
田中 米太

田中 米太 について

, 
後藤 学

後藤 学 について


出願人/特許権者：
ウシオ電機株式会社

ウシオ電機株式会社 について


代理人 (1件)： 長澤 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-192947
公開番号（公開出願番号）：特開平9-045603
出願日： 1995年07月28日
公開日（公表日）： 1997年02月14日
要約：
【要約】【課題】 ダミーを使用せず、アライメント用の光源として多色光を使用でき、収差補正の必要がない位置合わせ方法および装置を提供すること。【解決手段】 ワークWを除いた状態で、光照射部LH2より露光波長光をマスクM2に照射し、少なくともワーク側がテレセントリックである投影レンズL1,L2を通してマスクM1に投影させ、マスクM2のアライメント・マークMA2の投影像と、マスクM1のアライメント・マークMA1が重なるようにマスクM1(マスクM2)を移動させる。また、上記照射光をビームスプリッタBSにより分岐し、アライメント・マークMA2の位置を記憶しておく。つぎに、露光波長光の放出を停止し、ワークWを所定位置に挿入し、光照射部LEから多色非露光波長光を照射してワークWのアライメント・マークWA1の位置を検出し、記憶しておいたアライメント・マークMA2の位置と重なるようにワークWを移動させる。
請求項（抜粋）：
光照射部より露光波長光を第1のマスクのアライメント・マークに照射し、第2のマスクのアライメント・マークと、少なくともマスク側と反対側がテレセントリックである第1の投影レンズおよび第2の投影レンズを通して第2のマスクに投影される第1のマスクのアライメント・マークの投影像とを受像・画像処理してその相対位置を検出し、上記両アライメント・マークの相対位置データを演算して、該両アライメント・マークが重なるように第2のマスクおよび/または第1のマスクを移動させることを特徴とするマスクとマスクの位置合わせ方法。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00
FI (3件)：
H01L 21/30 525 P ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 H
引用特許：
審査官引用 (4件)
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