特許

J-GLOBAL ID：200903096872908628

反射防止組成物及びこれを用いる感光膜の形成方法

発明者： 西 峰雄 ,  寺本 正史
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-056314
公開番号（公開出願番号）：特開平9-244238
出願日： 1996年03月13日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：

【要約】【課題】 諸特性に優れた反射防止膜を与える反射防止組成物を提供する。【解決手段】 同一分子内に二つのカルボキシル基を有するアミノ酸が縮重合した高分子を含有する反射防止組成物。

請求項（抜粋）：

基板とフォトレジスト膜との間に介在させる反射防止膜を形成するための反射防止組成物であって、溶媒、吸光材料及び同一分子内に二つのカルボキシル基を有するアミノ酸が縮重合したポリマーを含有することを特徴とする反射防止組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/004 506 ,  G03F 7/11 503 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/004 506 ,  G03F 7/11 503 ,  H01L 21/30 574

引用特許：

審査官引用 (1件)

• ハレーション止め組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-328816   出願人：シツプリイ・カンパニイ・インコーポレイテツド