特許

J-GLOBAL ID：200903096874524428

有機金属化合物

発明者： デオダッタ・ビナヤク・シェナイ-ハトハテ ,  マイケル・ブレンダン・パワー
出願人/特許権者： ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー.
代理人 (2件)： 千田 稔 ,  橋本 幸治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-099110
公開番号（公開出願番号）：特開2004-308007
出願日： 2004年03月30日
公開日（公表日）： 2004年11月04日
要約：

【課題】有機金属化合物【解決手段】 IV族金属含有フィルムの蒸着前駆体として使用するために有用な有機金属化合物が提供される。ある種の有機金属前駆体を用いてIV族金属含有フィルムを堆積させる方法も提供される。前記のIV族金属含有フィルムは電子デバイスの製造において特に有用である。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

基体上に金属含有フィルムを堆積させる方法であって、 a)気相中の1以上の式Iの有機金属化合物を、該基体を含む堆積チャンバーへ輸送する工程

IPC (3件)：

C23C16/30 ,  C07F7/30 ,  H01L21/205

FI (4件)：

C23C16/30 ,  C07F7/30 A ,  C07F7/30 D ,  H01L21/205

Fターム (37件)：

4H049VN02 ,  4H049VP01 ,  4H049VQ02 ,  4H049VQ12 ,  4H049VQ35 ,  4H049VR12 ,  4H049VR13 ,  4H049VR21 ,  4H049VR22 ,  4H049VR24 ,  4H049VR32 ,  4H049VR33 ,  4H049VR51 ,  4H049VR52 ,  4H049VS12 ,  4H049VS35 ,  4H049VU24 ,  4H049VW02 ,  4K030AA11 ,  4K030AA17 ,  4K030AA18 ,  4K030BA09 ,  4K030BA29 ,  4K030BA48 ,  4K030CA04 ,  4K030CA05 ,  4K030EA01 ,  4K030FA10 ,  4K030LA15 ,  5F045AA04 ,  5F045AB02 ,  5F045AB05 ,  5F045AC07 ,  5F045AD08 ,  5F045AD09 ,  5F045BB16 ,  5F045CA02

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平2-208925
  
• 半導体結晶の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-052798   出願人：富士通株式会社