蒸着装置、蒸着方法、液晶装置の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡邊隆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-333406
公開番号（公開出願番号）：特開2003-138369
出願日： 2001年10月30日
公開日（公表日）： 2003年05月14日
要約：

【要約】【課題】被蒸着材たる基板面全体に亙って、蒸着角度及び/又は蒸着膜厚の均一な蒸着膜を簡便に複数層積層して形成することが可能な蒸着装置、及び蒸着方法、ならびに蒸着装置、蒸着方法を用いた液晶装置の製造方法を提供する。【解決手段】蒸着装置1は、蒸着物質の蒸気を生じさせる第1蒸着源2a及び第2蒸着源2bと、蒸着物質の蒸気が流通可能な開口部3aを備える蒸気流通部3と、蒸気流通部3に形成され被蒸着材としての基板5を搬送可能な搬送部4とを具備する蒸着室8、蒸着室8を真空にするための真空ポンプ10、搬送部4の作動制御を行う搬送制御部7、第1蒸着源2a及び第2蒸着源2bのいずれかを作動させるための作動切換制御部6を備えている。搬送制御部7は、基板5を開口部3aを通過する通過状態から非通過状態に切り換え、作動切換制御部6は非通過状態において第1蒸着源2a及び第2蒸着源2bの作動を切り換える。

請求項（抜粋）：

蒸着物質の蒸気を生じさせる第1蒸着源及び第2蒸着源と、被蒸着材を搬送可能な被蒸着材搬送部と、前記蒸気が流通可能な開口部を備えた蒸気流通部とを具備し、前記被蒸着材搬送部は、前記被蒸着材が前記蒸気流通部の開口部に少なくとも面する蒸着可能状態から該開口部に面しない蒸着不可能状態へと切り換え可能に搬送するための搬送切換手段を備えるとともに、前記第1蒸着源と第2蒸着源とのいずれかを作動させるための蒸着源作動切換手段を具備することを特徴とする蒸着装置。

IPC (5件)：

C23C 14/24 , G02F 1/13 101 , G02F 1/13 505 , G02F 1/1337 515 , G02F 1/1368

FI (6件)：

C23C 14/24 C , C23C 14/24 U , G02F 1/13 101 , G02F 1/13 505 , G02F 1/1337 515 , G02F 1/1368

Fターム (31件)：

2H088EA12 , 2H088FA20 , 2H088FA30 , 2H088HA01 , 2H088HA03 , 2H088JA03 , 2H088MA04 , 2H090HB02Y , 2H090HC01 , 2H090HC18 , 2H090HD14 , 2H090JB02 , 2H090KA02 , 2H090MA06 , 2H090MB06 , 2H092JA24 , 2H092JB56 , 2H092MA56 , 2H092NA04 , 2H092PA01 , 2H092PA02 , 2H092QA05 , 4K029AA08 , 4K029AA09 , 4K029AA24 , 4K029BA46 , 4K029BB02 , 4K029CA01 , 4K029DB15 , 4K029EA01 , 4K029KA01

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開昭63-172121
磁気記録媒体の製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-311581 出願人：富士写真フイルム株式会社
特開昭63-132201

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審査官引用 (5件)

特開昭63-172121
磁気記録媒体の製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-311581 出願人：富士写真フイルム株式会社
特開昭63-132201

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