中和用エネルギー線の位置合わせ方法および集束イオンビーム装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-113910
公開番号（公開出願番号）：特開2000-306866
出願日： 1999年04月21日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：

【要約】【課題】集束イオンビーム装置の、中和用エネルギー線25aおよびイオンビーム39の照射位置同士を精度良く合わせる。【解決手段】試料37に中和用エネルギー線を照射して、試料に中和用エネルギー線の照射範囲を反映させた反映領域37aを形成する。反映領域を形成した試料をイオンビームで走査して、反映領域の範囲を示す座標情報として、イオンビームの走査座標軸上の座標情報を求める。この求めた座標情報に基づいて、中和用エネルギー線の照射範囲がイオンビームの予め定めた照射点に対し許容される位置関係にあるかを判定する。この位置関係を満たさないと判定された場合に、この位置関係を満たすように、上記求めた座標情報に基づいて、中和用エネルギー線の照射領域を変更する。

請求項（抜粋）：

イオンビームを試料に照射した際に該試料に蓄積される電荷を、該試料に中和用エネルギー線を照射して中和するに当たっての、前記中和用エネルギー線と前記イオンビームとの照射位置を合わせる方法において、前記試料に前記中和用エネルギー線を照射して、該試料に該中和用エネルギー線の照射範囲を反映させた反映領域を形成する第1の工程と、前記反映領域を形成した前記試料を前記イオンビームで走査して、前記反映領域の範囲を示す座標情報として、前記イオンビームの走査座標軸上の座標情報を求める第2の工程と、前記求めた座標情報に基づいて、前記中和用エネルギー線の照射範囲が前記イオンビームの予め定めた照射点に対し許容される位置関係にあるかを判定する第3の工程と、前記第3の工程で前記位置関係を満たさないと判定された場合に実行され、前記位置関係を満たすように、前記座標情報に基づいて、前記中和用エネルギー線の照射領域を変更する第4の工程とを含むことを特徴とする中和用エネルギー線の位置合わせ方法。

IPC (4件)：

H01L 21/302 , H01J 37/20 , H01J 37/317 , H01L 21/203

FI (4件)：

H01L 21/302 Z , H01J 37/20 H , H01J 37/317 D , H01L 21/203 M

Fターム (15件)：

5C001BB03 , 5C001BB06 , 5C001BB07 , 5C001CC08 , 5C001DD01 , 5C034DD06 , 5C034DD09 , 5F004AA16 , 5F004BA17 , 5F004BB01 , 5F004CB01 , 5F004EA39 , 5F103AA06 , 5F103BB51 , 5F103BB56

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開平3-082780
集束イオンビーム加工位置合わせ方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-247523 出願人：株式会社日立製作所

前のページに戻る