特許
J-GLOBAL ID：200903096927603619
ファラデー素子の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
茂見 穰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-012140
公開番号（公開出願番号）：特開平11-199390
出願日： 1998年01月06日
公開日（公表日）： 1999年07月27日
要約：
【要約】【課題】 切り出した磁性ガーネット結晶の全六面の方位を特定できるようにすることで、結晶方位と印加磁界方向の関係を厳密に規定する必要がある光デバイスの特性向上を図る。【解決手段】 非磁性ガーネット基板10の(111)面上に、液相エピタキシャル法により磁性ガーネット結晶12を育成する。基板には、予め結晶方位を示すフラット面が設けてある。このウエハーを切断して多数の長方形の中間加工物14とし、研磨し必要に応じて基板を除去し、熱処理を施す。そして仕上げ厚み寸法にし、必要に応じて表面に反射防止膜を形成する。長辺の側面が(112)面もしくは(110)面となるように切り出し長方形のチップ16とする。このチップを1個もしくは複数個組み合わせてファラデー素子とする。
請求項（抜粋）：
非磁性ガーネット基板の(111)面上に液相エピタキシャル法により作製した磁性ガーネット結晶を、長辺側の側面が(112)面もしくは(110)面となるように長方形のチップに切断することを特徴とするファラデー素子の製造方法。
IPC (2件)：
C30B 29/28
, G02F 1/09 501
C30B 29/28
, G02F 1/09 501
