特許
J-GLOBAL ID：200903096972055592

ボンディング装置

発明者：
原口 学

原口 学 について


出願人/特許権者：
株式会社新川

株式会社新川 について


代理人 (2件)： 吉田 研二 ,  石田 純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-041827
公開番号（公開出願番号）：特開2005-019950
出願日： 2004年02月18日
公開日（公表日）： 2005年01月20日
要約：
【課題】ボンディング装置において、ボンディングにおける位置ずれをより少なくすることである。【解決手段】第2カメラ28の撮像中心に対し第1カメラ26の撮像中心が+Xcずれ、ボンディングツール12が高さZ1から高さZ2まで移動するときに+Xnずれるときは、位置決めにおいてΔX=(Xn-Xc)を補正すればよい。ボンディング装置において、補正ポジション94のZ1高さにターゲット32を設け、ターゲット32の下方に補正用カメラ30を設ける。ターゲット32からみた高さZ1におけるチップ10dの位置である第1位置偏差X1、第2カメラ28の撮像中心からみたターゲット32の位置である第2位置偏差X2、第1カメラ26の撮像中心からみた高さZ2におけるチップ10uの位置である第3位置偏差X3に基づき、補正量ΔX=(Xn-Xc)=X3-(X2+X2)を求めることができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ボンディングツール又はボンディングツールに保持されたボンディング対象物又はボンディングツールに保持された測定用部材の少なくとも1つをボンディングツールに関する対象物として、ボンディングツールに関する対象物の位置を測定する第1カメラと基板の位置を測定する第2カメラとを含む位置決め機構を有し、位置決め機構により、ボンディングツールに保持されたボンディング対象物をボンディング作業面に配置された基板の決められた位置に位置決めしてボンディングを行うボンディング装置において、 位置決め機構は、さらに、 位置基準を有し両側から観察可能なターゲットと、 ターゲットの一方側に配置された補正用カメラと、 予め定められた位置関係でボンディングツールに関する対象物をターゲットの他方側に配置し、補正用カメラにより、ターゲットと、ボンディングツールに関する対象物とを別々にまたは同時に撮像し、撮像データよりターゲットの位置基準とボンディングツールに関する対象物の基準位置との間の第1位置偏差を求める第1測定手段と、 予め定められた位置関係で第2カメラをターゲットの他方側に配置し、第2カメラによりターゲットを撮像し、撮像データよりターゲットの位置基準と第2カメラの撮像基準位置との間の第2位置偏差を求める第2測定手段と、 予め定められた位置関係で第1カメラをボンディングツールに関する対象物に向かい合わせ、第1カメラによりボンディングツールに関する対象物を撮像し、撮像データよりボンディングツールに関する対象物の基準位置と第1カメラの撮像基準位置との間の第3位置偏差を求める第3測定手段と、 第1位置偏差と第2位置偏差と第3位置偏差とに基づき、ボンディングにおける位置ずれを求める算出手段と、 を備え、算出結果に基づきボンディングにおける位置ずれを補正することを特徴とするボンディング装置。
IPC (2件)：
H01L21/60 ,  G06T1/00
FI (2件)：
H01L21/60 311T ,  G06T1/00 305C
Fターム (6件)：
5B057AA03 ,  5B057BA15 ,  5B057BA17 ,  5B057DA07 ,  5F044PP15 ,  5F044PP17
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (1件)

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