特許
J-GLOBAL ID：200903097027726983
半導体製造装置の制御プログラム提供システム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
守山 辰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-012829
公開番号（公開出願番号）：特開2002-217182
出願日： 2001年01月22日
公開日（公表日）： 2002年08月02日
要約：
【要約】【課題】 半導体製造装置の稼動を阻害することなく、半導体製造装置のコントローラへの制御プログラムの送信によるインストールを実現する。【解決手段】 本システムは、制御プログラムを実行することにより半導体製造装置の動作を制御するコントローラ31に、少なくともプロセスイベントPを除く制御プログラム切り換え可能な時期を判定する機能48と、通信回線N、38、36を介して受信する制御プログラムを判定結果に応じて制御部47により実行可能にメモリ46に記憶するメモリアクセス機能49とを設け、プロセスイベントでの温度変化を生じさせることなく、管理サーバ50から通信回線を介して提供された新たな制御プログラムを自動的にコントローラ31にダウンロードする。
請求項（抜粋）：
制御プログラムを実行することにより半導体製造装置の動作を制御するコントローラに、管理サーバから通信回線を介して制御プログラムを提供するシステムであって、コントローラは、予め設定された制御プログラム切り換え可能な時期を判定する機能と、通信回線を介して受信する制御プログラムを判定結果に応じてプロセッサにより実行可能にメモリに記憶する機能と、を備えたことを特徴とする半導体製造装置の制御プログラム提供システム。
IPC (3件)：
H01L 21/31
, H01L 21/02
, G06F 9/445
H01L 21/31 B
, H01L 21/02 Z
, G06F 9/06 610 Q
5B076AA02
, 5B076EA18
, 5F045AB32
, 5F045AB33
, 5F045BB08
, 5F045DP19
, 5F045DQ17
, 5F045GB15
