特許

J-GLOBAL ID：200903097041166435

圧電素子の形成方法

発明者： 中澤 明
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 柏谷 昭司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-302443
公開番号（公開出願番号）：特開平7-156413
出願日： 1993年12月02日
公開日（公表日）： 1995年06月20日
要約：

【要約】【目的】 インクジェットヘッドの圧電素子の形成方法に関し、圧電素子の効率を向上させることのできる圧電素子の形成方法を提供する。【構成】 シリコンを主成分とする基板11の振動板部15上に形成された金属電極16の上に圧電素子14を形成する際に、金属電極16の周辺部から一部がはみ出して振動板部15に直接接するように圧電素子14を形成する。

請求項（抜粋）：

インクジェットヘッドの圧電素子の形成方法において、シリコンを主成分とする基板の振動板部(15)上に形成された金属電極(16)の上に圧電素子(14)を形成する際に、前記金属電極(16)から一部がはみ出して前記振動板部(15)に直接接するように圧電素子(14)を形成し焼成することを特徴とする圧電素子の形成方法。

IPC (3件)：

B41J 2/16 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055

FI (2件)：

B41J 3/04 103 H ,  B41J 3/04 103 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

• インクジェットヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-298477   出願人：セイコーエプソン株式会社
• インクジェットヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-110344   出願人：セイコーエプソン株式会社