特許
J-GLOBAL ID:200903097041365179

研磨装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 綿貫 隆夫 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-002070
公開番号(公開出願番号):特開平9-193012
出願日: 1996年01月10日
公開日(公表日): 1997年07月29日
要約:
【要約】【課題】 危険防止機能を好適に発揮できると共に、研磨加工時に発生する研磨液の飛散を好適に防止でき、耐久性等の信頼性が高く自動的に且つ好適に開閉できるカバーを備える研磨装置を提供する。【解決手段】 ワークを上側部材と下側部材で挟圧し、該上側部材と下側部材を相対的に運動させてワークを研磨する研磨装置において、上下方向に配設された上下ガイド18と、前記ワークが研磨される研磨部16を覆い、上下ガイド18に沿って上下動可能に設けられ、上方に移動した際には研磨部16を開放するリアカバー24およびフロントカバー28と、作動部が研磨部16より上方に設けられ、カバー24、28を上下動させるロッドレスシリンダ26および上下動シリンダ26とを具備する。
請求項(抜粋):
ワークを上側部材と下側部材で挟圧し、該上側部材と下側部材を相対的に運動させてワークを研磨する研磨装置において、上下方向に配設された上下ガイドと、前記ワークが研磨される研磨部を覆い、前記上下ガイドに沿って上下動可能に設けられ、上方に移動した際には研磨部を開放するカバーと、作動部が前記研磨部より上方に設けられ、前記カバーを上下動させる昇降駆動装置とを具備することを特徴とする研磨装置。
IPC (2件):
B24B 55/04 ,  B24B 37/04
FI (2件):
B24B 55/04 Z ,  B24B 37/04 Z
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 平面研削盤
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平4-040879   出願人:株式会社東芝
  • 平板の研摩方法及びその装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-075364   出願人:株式会社関西プラント工業

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