特許
J-GLOBAL ID：200903097102970305
光位相特性測定装置及び測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
清水 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-262064
公開番号（公開出願番号）：特開平11-101694
出願日： 1997年09月26日
公開日（公表日）： 1999年04月13日
要約：
【要約】【課題】 干渉計を安定化することなく、単一の光源を用いて、高感度、かつ高安定な光位相の測定を行うことができる光位相特性測定装置及びその測定方法を提供する。【解決手段】 光源1の出力光の基本波から高調波を発生させる高調波発生装置2と、前記出力光の基本波成分と高調波成分を分岐する光分岐器3と、この光分岐器3の出力のどちらか一方の光路に配置される被測定試料5と、光路差変調用信号発生器6と光路差変調用ミラー7からなる、前記光分岐器3の出力のどちらか一方の光路差を変調する手段と、前記基本波成分と高調波成分を合波する光合波器8と、この光合波器8の出力光を基本波成分と高調波成分に分波する光分波器9,10と、この光分波器9,10の出力の基本波成分を検波する第1の光検波器11,12と、前記光分波器9,10の出力の高調波成分を検波する第2の光検波器13,14と、前記二つの光検波器(11,12:13,14)の出力交流信号の位相差を検出する位相検出器17とを設ける。
請求項（抜粋）：
光位相特性測定装置において、(a)光源の出力光の基本波から高調波を発生させる手段と、(b)前記出力光の基本波成分と高調波成分を分岐する光分岐器と、(c)該光分岐器の出力のどちらか一方の光路に配置される被測定試料と、(d)前記光分岐器の出力のどちらか一方の光路差を変調する手段と、(e)前記基本波成分と高調波成分を合波する光合波器と、(f)該光合波器の出力光を基本波成分と高調波成分に分波する光分波器と、(g)該光分波器の出力の基本波成分を検波する第1の光検波器と、(h)前記光分波器の出力の高調波成分を検波する第2の光検波器と、(i)前記二つの光検波器の出力交流信号の位相差を検出する手段とを備えたことを特徴とする光位相特性測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
審査官引用 (1件)
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光波干渉測定装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平7-066469
出願人：株式会社ニコン
引用文献：
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