自制形マイクロメカニカル素子を備える二重基板反射性空間光変調器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：園田吉隆 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-571299
公開番号（公開出願番号）：特表2002-525676
出願日： 1998年09月24日
公開日（公表日）： 2002年08月13日
要約：

【要約】【解決手段】空間光変調器(12)はアドレッシング回路(36)を含む下部基板(34)上方に保持された上部光透過性の基板(20)を備える。1つ以上の静電式偏向可能素子(48)が上部基板(20)からヒンジ(50)によって懸下されている。動作時、個別のミラー(48)が、選択的に偏向され、上部基板(20)に入射した後反射される光(56)を空間変調する働きをする。ミラー(48)が下部基板(34)にスナップ動作しないように反射性偏向可能素子にモーションストップ(49)を取り付けることができる。代わりに、モーションストップ(49)を上部基板(20)に固定し、反射性偏向可能素子(48)の偏向角度を制限させてもよい。

請求項（抜粋）：

上面および下面を有する光透過性の基板と、光透過性の基板の下面に取り付けられた少なくとも1つの偏向可能素子と、光透過性の基板の下に、その下面から離間して位置する回路基板であり、前記回路基板は少なくとも1つの偏向可能素子のいずれかの組の作動を行い得るアドレッシング回路を備えるものである、回路基板とを具備する空間光変調器。

IPC (2件)：

G02B 26/08 , B81B 3/00

FI (2件)：

G02B 26/08 E , B81B 3/00

Fターム (6件)：

2H041AA11 , 2H041AB14 , 2H041AC06 , 2H041AZ00 , 2H041AZ02 , 2H041AZ08

引用特許：

審査官引用 (4件)

光スイッチ装置の小型ネットワーク
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-243444 出願人：セーエスウーエム・サントル・スイス・デレクトロニク・エ・ドゥ・ミクロテクニク・エスアー・ルシェルシュ・エ・デヴェロプマン
特開昭55-079419
特開昭56-137386

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