特許

J-GLOBAL ID：200903097142272953

共焦点顕微鏡

発明者： マーティン ヤンセン
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (2件)： 伊丹 勝 ,  須藤 浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-131749
公開番号（公開出願番号）：特開2009-282112
出願日： 2008年05月20日
公開日（公表日）： 2009年12月03日
要約：

【課題】試料の観察の応用範囲を維持してコンパクト化およびコストダウンを図る。【解決手段】共焦点顕微鏡1は、光源11と、拡散板12と、コリメータレンズ13と、偏光板14と、偏光ビームスプリッタ15と、結像レンズ16と、λ/4波長板17と、対物レンズ18と、光空間変調器20と、CCDカメラ29とを備える。光空間変調器20は、LCOSからなり、複数の画素を配置した鏡面状のシリコンチップと表面のガラス層との間に液晶を挟み込んで構成され、シリコンチップの裏側に各画素を駆動させるための駆動回路が埋め込まれた構造からなる。光空間変調器20により、オン制御中の画素からの光だけが伝達されて試料19の測定面に空間光パターンを投影することができ、この測定面からの反射光を直接CCDカメラ29で撮像することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

試料面をレーザ光で走査してその焦点面の光により試料を観察する共焦点顕微鏡であって、 前記レーザ光を照射する光源と、 前記光源からのレーザ光を複数のビームスポットを構成する画素ごとにそれぞれ偏光方向を回転させて反射可能なLCOSからなる光空間変調器と、 前記光空間変調器により反射され前記試料面に投影された複数のスポット光から前記焦点面の反射光を読み取る撮像素子と、 前記光空間変調器および前記撮像素子を制御する制御手段とを備えた ことを特徴とする共焦点顕微鏡。

IPC (2件)：

G02B 21/06 ,  G02F 1/13

FI (2件)：

G02B21/06 ,  G02F1/13 505

Fターム (17件)：

2H052AA08 ,  2H052AC11 ,  2H052AC14 ,  2H052AC15 ,  2H052AC25 ,  2H052AC27 ,  2H052AC34 ,  2H052AF14 ,  2H088EA22 ,  2H088EA37 ,  2H088GA02 ,  2H088HA06 ,  2H088HA10 ,  2H088HA20 ,  2H088HA21 ,  2H088HA28 ,  2H088MA20

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 共焦点顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-032961   出願人：国立大学法人浜松医科大学