特許
J-GLOBAL ID：200903097153188890

試料検査装置

発明者：
大澤 孝治

大澤 孝治 について


出願人/特許権者：
株式会社ニデック

株式会社ニデック について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-251134
公開番号（公開出願番号）：特開2000-081321
出願日： 1998年09月04日
公開日（公表日）： 2000年03月21日
要約：
【要約】【課題】 検査試料へのダメージを抑え、試料の面形状や厚さむらを高精度に、素早く測定検査する。【解決手段】 検査試料の形状を測定する試料検査装置において、測定表面及び測定裏面を除く部分を保持された検査試料の、測定表面に可干渉光を投光して第1参照面と測定表面との光干渉により干渉縞を形成し干渉縞を撮像素子により撮像する第1検査光学系と、検査試料の測定裏面に可干渉光を投光して第2参照面と測定裏面との光干渉により干渉縞を形成し干渉縞を撮像素子により撮像する第2検査光学系とを備え、第1及び第2検査光学系によりそれぞれ得られる干渉縞画像に基づいて検査試料の面形状情報を得る。
請求項（抜粋）：
検査試料の形状を測定する試料検査装置において、前記検査試料の測定表面及び測定裏面を除く部分を保持する保持手段と、該保持手段に保持された検査試料の測定表面に可干渉光を投光して第1参照面と測定表面との光干渉により干渉縞を形成し該干渉縞を撮像素子により撮像する第1検査光学系と、前記保持手段に保持された検査試料の測定裏面に可干渉光を投光して第2参照面と測定裏面との光干渉により干渉縞を形成し該干渉縞を撮像素子により撮像する第2検査光学系と、前記第1及び第2検査光学系によりそれぞれ得られる干渉縞画像に基づいて前記検査試料の面形状情報を得る解析手段と、を備えることを特徴とする試料検査装置。
IPC (3件)：
G01B 11/24 ,  G01B 11/30 102 ,  G06T 7/00
FI (3件)：
G01B 11/24 D ,  G01B 11/30 102 Z ,  G06F 15/62 405 A
Fターム (25件)：
2F065AA30 ,  2F065AA47 ,  2F065CC19 ,  2F065DD13 ,  2F065FF04 ,  2F065FF52 ,  2F065GG04 ,  2F065GG12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL09 ,  2F065LL46 ,  2F065PP11 ,  2F065SS14 ,  2F065UU01 ,  2F065UU04 ,  2F065UU07 ,  5B057AA03 ,  5B057BA15 ,  5B057DA03 ,  5B057DB03 ,  5B057DC02 ,  5B057DC09
引用特許：
審査官引用 (3件)

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