特許
J-GLOBAL ID：200903097166794306
波長制御を有する注入シード方式F2レーザ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
熊倉 禎男
, 大塚 文昭
, 今城 俊夫
, 西島 孝喜
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-580451
公開番号（公開出願番号）：特表2004-524707
出願日： 2002年03月29日
公開日（公表日）： 2004年08月12日
要約：
本発明は、2つのレーザサブシステムを有する狭帯域レーザシステムを提供する。第1のレーザサブシステム(シードレーザ)は、狭帯域パルスシードビームが増幅されて狭帯域パルス出力ビームを生成する第2のレーザサブシステム(スレーブ発振器又は電力増幅器)を注入シードするのに使用される超狭帯域パルス出力ビームを準備する。パルス電源(パルス電力)は、放電を適正に同期化するために、2つのレーザサブシステムの放電の時期を正確に決める。レーザガスは、約1%よりも少ない分圧のF2を含み、バッファガスは、ヘリウム、ネオン、又は、それらの組合せで構成される。出力ビームの中心波長の制御は、第1レーザサブシステムにおける以下のパラメータ、すなわち、全レーザガス圧力、ヘリウム又はネオンの相対濃度、F2分圧、レーザガス温度、放電電圧、及びパルスエネルギのうちの1つ又はそれ以上を調節することによって与えられる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
A)1)レーザガスと、帯域幅を有する第1のレーザビームを生成するために電気放電が前記レーザガス内に利得媒体を生成する第1の放電領域を形成する第1の組の電極とを包含する第1のレーザチャンバ、及び
2)前記第1のレーザビームの帯域幅を低減して、狭帯域の第1のレーザサブシステム出力ビームを生成するためのライン・ナローイング装置、
を含む第1の放電レーザサブシステムと、
B)循環レーザガスと、前記第1のレーザサブシステム出力ビームを増幅するために電気放電が利得媒体を生成する第2の放電領域を形成する第2の組の電極とを包含する第2のレーザチャンバ、
を含む第2の放電レーザサブシステムと、
C)レーザシステムの出力ビームの中心線波長を制御する中心線波長制御手段と、
を含むことを特徴とする、注入シード方式狭帯域ガス放電パルスレーザシステム。
IPC (5件)：
H01S3/137
, H01S3/036
, H01S3/0943
, H01S3/104
, H01S3/23
H01S3/137
, H01S3/104
, H01S3/23
, H01S3/03 J
, H01S3/094 G
5F071AA04
, 5F071DD04
, 5F071GG05
, 5F071HH02
, 5F071JJ05
, 5F071JJ10
, 5F072AA04
, 5F072GG05
, 5F072HH02
, 5F072JJ05
, 5F072JJ13
, 5F072KK08
, 5F072KK30
, 5F072SS06
