特許
J-GLOBAL ID：200903010954418635

ガス放電レーザに関する長パルスパルスパワーシステム

発明者：
トーマス ホフマン

トーマス ホフマン について

, 
ブルース ディー ジョハンソン

ブルース ディー ジョハンソン について


出願人/特許権者：
サイマー インコーポレイテッド

サイマー インコーポレイテッド について


代理人 (1件)： 中村 稔 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-123349
公開番号（公開出願番号）：特開2000-353839
出願日： 2000年03月21日
公開日（公表日）： 2000年12月19日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 光学的損傷を生じさせるパルスのポテンシャルを評価するためにリソグラフィ産業において用いられているパラメータは、「積分平方パルス持続時間」と呼ばれ、そのシンボルはTisである。Tisを約30乃至35nsから約50乃至60nsまで実質的に増加させるリソグラフィレーザ用のパルスパワーシステムが必要である。【解決手段】 ガス放電レーザ用のロングパルスパルスパワーシステムを提供する。本システムは、高電圧パルス電源から電荷を受けるサステイナコンデンサを包含する。サステイナコンデンサの半分以下の容量値を備えるピークコンデンサが、レーザ放電のための高電圧を提供する。
請求項（抜粋）：
ガス放電レーザ用のロングパルスパワーシステムであって、A)電気的パワーの高電圧パルスを提供するための高電圧パルス電源手段と、B)前記高電圧パルス電源から電荷を受けるサステイナ容量を備えるサステイナコンデンサと、C)一対の放電電極と、D)前記サステイナコンデンサからの電化を受け、電気的放電を生じさせる前記電極に高電圧を印加するピークコンデンサと、E)前記サステイナコンデンサと前記ピークコンデンサとの間に電気的に配置された過飽和インダクタと、を有し、前記ピークコンデンサが前記サステイナコンデンサの半分より小さな容量値を有することを特徴とする、ガス放電レーザ用のロングパルスパワーシステム。
引用特許：
審査官引用 (3件)

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