レーザ用反射鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：阪本善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-054016
公開番号（公開出願番号）：特開平9-222507
出願日： 1996年02月16日
公開日（公表日）： 1997年08月26日
要約：

【要約】【課題】光学特性が良好で全体の層数が少なくて安価なレーザ用反射鏡を実現する。【解決手段】基板1にZrO2 膜3とSiO2 膜2を9ペア、その上にZrO2 膜より低屈折率であるが高耐力のAl2 O3 膜5とSiO2 膜4を6ペア積層してレーザ光用の高反射膜を製作する。これはレーザ用反射鏡として必要なレーザ耐力を得るためのAl2 O3 膜の層数を、Al2 O3 膜5の膜内電界強度の最大値とZrO2 膜3の膜内電界強度の最大値から見積もることによって得られたもので、Al2 O3 膜5の層数が増えることによる光学特性の劣化を抑制することのできる最適膜構成である。

請求項（抜粋）：

基板と、その表面に積層された誘電体多層膜を有し、該誘電体多層膜が、高耐力である所定数の第1の高屈折率膜とこれより屈折率の高い第2の高屈折率膜と各高屈折率膜の間に配設された低屈折率膜を備えており、前記第1の高屈折率膜の膜内電界強度の最大値E<SB>1</SB> と前記第2の高屈折率膜の膜内電界強度の最大値E<SB>2</SB> の間に以下の関係が成立するように構成されていることを特徴とするレーザ用反射鏡。E<SB>2</SB> <0.20・E<SB>1</SB> ・T<SB>2</SB> /T<SB>1</SB>ここで、T<SB>1</SB> :前記第1の高屈折率膜の単層膜レーザ耐力T<SB>2</SB> :前記第2の高屈折率膜の単層膜レーザ耐力

IPC (2件)：

G02B 5/08 , G02B 5/28

FI (2件)：

G02B 5/08 , G02B 5/28

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平2-097901
反射膜
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-253709 出願人：キヤノン株式会社
特開平2-192189

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