金属用研磨液及びそれを用いた研磨方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-321719
公開番号（公開出願番号）：特開2001-144041
出願日： 1999年11月11日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：

【要約】【課題】凍結解凍後も研磨面に傷を発生させずに高いCMP速度を発現し、高平坦化、ディッシング量低減及びエロージョン量低減を可能とし、信頼性の高い金属膜の埋め込みパタ-ン形成を可能とする金属用研磨液及びそれを用いた研磨方法を提供する。【解決手段】解凍後も凍結前の特性と実質的に変わらない金属用研磨液前駆体を用いた金属用研磨液であり、金属用研磨液前駆体が、酸化金属溶解剤、保護膜形成剤、水溶性高分子及び水を含有し、この金属用研磨液前駆体に金属の酸化剤を添加して金属用研磨液とする。

請求項（抜粋）：