特許
J-GLOBAL ID:200903097172877230
弾性波デバイス、フィルタ、通信モジュール、および通信装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-139871
公開番号(公開出願番号):特開2009-290472
出願日: 2008年05月28日
公開日(公表日): 2009年12月10日
要約:
【課題】アポタイズ重み付けを適用した弾性波デバイスにおいて、櫛形電極部と先端ギャップ部との音速差を小さくすることによって、弾性波デバイスのロスを低減する。【解決手段】圧電性基板11と、圧電性基板11上に形成された櫛形電極1及び2と、櫛形電極1及び2を覆う誘電体膜12とを備え、櫛形電極1及び2の交差幅が異なる部分を有する弾性波デバイスであって、櫛形電極1及び2の入力側の電極の先端と出力側の電極の先端とが対向した先端ギャップ3の音速を、隣接する櫛形電極1及び2が無い領域の音速より遅くしたものである。【選択図】図2
請求項(抜粋):
圧電性基板と、
前記圧電性基板上に形成され、入力側電極と出力側電極とが空隙を挟んで対向するように配置された櫛形電極と、
前記櫛形電極を覆う誘電体膜とを備えた弾性波デバイスであって、
前記空隙における弾性波の音速を、前記空隙に隣接する前記櫛形電極が無い領域における弾性波の音速より遅くした、弾性波デバイス。
IPC (2件):
FI (3件):
H03H9/145 Z
, H03H9/145 C
, H03H9/64 Z
Fターム (10件):
5J097AA01
, 5J097AA06
, 5J097AA20
, 5J097BB15
, 5J097CC09
, 5J097DD29
, 5J097FF03
, 5J097FF05
, 5J097GG04
, 5J097KK09
引用特許:
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