特許

J-GLOBAL ID：200903097187947528

固体撮像装置およびその製造方法並びにマスク作製方法

発明者： 上村 親也 ,  井上 雅史
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-154954
公開番号（公開出願番号）：特開2000-349268
出願日： 1999年06月02日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
要約：

【要約】【課題】 入射光の「ケラレ」によるシェーディングを改善できる上、周辺減光よるシェーディングを改善できる固体撮像装置を提供する。【解決手段】 基板面に所定のピッチで配列された複数の受光部1と、入射光を受光部1へ集光するように各受光部1にそれぞれ対応して設けられた集光部2とを備える。射出瞳9aに正対される撮像領域中心部21から基板面に沿って撮像領域周辺部22へ移るにつれて、各集光部2の位置がその集光部に対応する受光部1の位置よりも撮像領域中心O側へ徐々に大きくずれ、かつ各集光部2の基板面に沿った方向の寸法W1’、...、Wn-1’、Wn’が徐々に大きくなっている。

請求項（抜粋）：

基板面に所定のピッチで配列された複数の受光部と、入射光を上記受光部へ集光するように上記基板上で上記各受光部にそれぞれ対応して設けられた集光部とを備えた固体撮像装置において、射出瞳に正対される上記基板上の撮像領域中心部から基板面に沿って撮像領域周辺部へ移るにつれて、上記各集光部の位置がその集光部に対応する受光部の位置よりも撮像領域中心側へ徐々に大きくずれ、かつ上記各集光部の上記基板面に沿った方向の寸法が徐々に大きくなっていることを特徴とする固体撮像装置。

IPC (5件)：

H01L 27/14 ,  H01L 21/027 ,  H01L 27/148 ,  H04N 5/335 ,  G03F 1/08

FI (6件)：

H01L 27/14 D ,  H04N 5/335 V ,  H04N 5/335 U ,  G03F 1/08 A ,  H01L 21/30 502 P ,  H01L 27/14 B

Fターム (20件)：

2H095BB02 ,  2H095BB10 ,  2H095BB31 ,  4M118AA05 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118CA03 ,  4M118CA26 ,  4M118EA01 ,  4M118FA06 ,  4M118GC07 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  5C024AA01 ,  5C024BA01 ,  5C024CA10 ,  5C024CA31 ,  5C024EA02 ,  5C024EA04 ,  5C024FA01

引用特許：

審査官引用 (5件)

• マイクロレンズの形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-356575   出願人：ソニー株式会社
• 固体撮像素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-188479   出願人：日本電気株式会社
• 固体撮像素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-177680   出願人：日本ビクター株式会社
• 固体撮像素子及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-178897   出願人：ソニー株式会社
• 固体撮像素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-332419   出願人：旭光学工業株式会社