特許

J-GLOBAL ID：200903097213340874

多層フラッシュエバポレーター

発明者： マリナー,ジョン・ティー ,  ロングワース,ダグラス・エイ
出願人/特許権者： アドヴァンスト・セラミックス・コーポレイション
代理人 (1件)： 奥山 尚男 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-511846
公開番号（公開出願番号）：特表平10-506677
出願日： 1995年09月18日
公開日（公表日）： 1998年06月30日
要約：

【要約】グラファイト体と、熱分解性窒化ホウ素の外側層と、熱分解性グラファイトと炭化ホウ素(B4C)、炭化タンタル、炭化ケイ素からなる群から選択される素材であり、約0.002インチ以下の厚さである中間層とを有する、繰り返し熱サイクルをおこなう条件下での金属フラッシュ気化のためのフラッシュエバポレーター容器。

請求項（抜粋）：

気化される金属が導入される凹所をもつグラファイト体と、前記グラファイト体のための外面の熱分解性窒化ホウ素コートと、前記熱分解性窒化ホウ素コートを前記グラファイト体から分け、かつ、熱分解性グラファイト、炭化ホウ素(B4C)、炭化タンタル、炭化ケイ素からなる群から選択される素材からなり、約0.002インチ以下の厚さである少なくとも一の中間層とを含んでなる、繰り返し熱サイクルをおこなう条件下での金属のフラッシュ気化のためのフラッシュエバポレーター容器。

IPC (2件)：

C23C 14/24 ,  C04B 41/89

FI (2件)：

C23C 14/24 A ,  C04B 41/89 K

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 熱分解窒化ほう素成形体の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-298524   出願人：信越化学工業株式会社
• 特開昭62-153189
  
• 特開昭61-251593
  
• 特開昭62-176981