特許
J-GLOBAL ID：200903097265824306
高濃度オゾンガスの供給方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北谷 寿一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-096280
公開番号（公開出願番号）：特開平10-287405
出願日： 1997年04月15日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：
【要約】【課題】 高濃度に濃縮したオゾンガスを供給する方法を提供する。【解決手段】 内部にオゾン吸着剤(25)を充填しているオゾン貯蔵容器(1)を複数直列に接続する。オゾン発生器(5)で発生させたオゾンガスを上流側のオゾン貯蔵容器(1a)に供給してオゾン貯蔵容器(1a)内のオゾン吸着剤(25)に飽和吸着させる。上流側オゾン貯蔵容器(1a)内のオゾン吸着剤(25)から脱離したオゾンガスを下流側のオゾン貯蔵容器(1b)内のオゾン吸着剤(25)に飽和吸着させる。下流側のオゾン貯蔵容器(1b)内のオゾン吸着剤(25)から脱離したオゾンガスをオゾン使用設備(10)に供給する。
請求項（抜粋）：
断熱構造の外側容器(23)内に内側容器(24)を配置し、両容器(23)(24)間に寒剤(26)を配置するとともに、内側容器(24)内にオゾン吸着剤(25)を充填してなるオゾン貯蔵容器(1)を複数直列に接続し、オゾン発生器(5)で発生させたオゾンガスを上流側のオゾン貯蔵容器(1a)内のオゾン吸着剤(25)に飽和吸着させ、上流側のオゾン貯蔵容器(1a)内のオゾン吸着剤(25)から脱離したオゾンガスを下流側のオゾン貯蔵容器(1b)内のオゾン吸着剤(25)に飽和吸着させ、この下流側のオゾン貯蔵容器(1b)内のオゾン吸着剤(25)から脱離したオゾンガスをオゾンガス使用設備(10)に供給するようにした高濃度オゾンガスの供給方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C01B 13/10 A
, B01J 20/10 D
