特許
J-GLOBAL ID：200903097319525520
露光方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-289153
公開番号（公開出願番号）：特開平8-130180
出願日： 1994年10月28日
公開日（公表日）： 1996年05月21日
要約：
【要約】【目的】本発明は露光方法において、従来に比して位置合わせ精度を一段と向上させる。【構成】マスク(3)と感光基板(4)の相対的な位置関係の検出により求めた偏差に基づいて補正値を算出し、補正値に基づいてマスク(3)と感光基板(4)を相対移動させる。この後露光を開始する前に、相対移動の終了後におけるマスク(3)と感光基板(4)の相対的な位置関係を再度検出し、この再検出結果と所定の位置関係との差分が許容範囲内になるか判別する。このとき許容範囲内とならない場合には前述の処理を繰り返す。これにより補正値に基づく相対移動時における誤差についても管理することができ、常に高い精度でマスク上のパターンを感光基板上に転写することができる。
請求項（抜粋）：
マスクと感光基板との相対的な位置関係を検出する第1工程と、前記検出結果の所定の位置関係からの偏差を求める第2工程と、前記偏差に基づいて前記マスクと前記感光基板とを前記所定の位置関係にするのに必要な補正値を算出する第3工程と、前記補正値に基づいて前記マスクと前記感光基板とを相対移動する第4工程と、前記マスクの像を投影光学系を介して前記感光基板上に露光する第5工程とからなる露光方法において、前記第4工程と第5工程との間に、前記第1工程と前記第2工程とを実行するとともに、前記偏差が所定の許容範囲外の場合は、前記第3工程と第4工程とを実行することを少なくとも1回繰り返す第6工程を加入し、前記偏差が所定の許容範囲内となつた後に、前記第5工程を実行することを特徴とする露光方法。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
, G03F 9/00
H01L 21/30 518
, H01L 21/30 521
