特許

J-GLOBAL ID：200903097346874650

プロキシミティギャップ制御方法、プロキシミティギャップ制御装置及びプロキシミティ露光装置

発明者： 根本 亮二 ,  小松 伸壽 ,  高橋 聡
出願人/特許権者： 日立電子エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 高橋 浩三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-051285
公開番号（公開出願番号）：特開2002-251018
出願日： 2001年02月26日
公開日（公表日）： 2002年09月06日
要約：

【要約】【課題】 短い時間でプロキシミティギャップを設定する。【解決手段】 チャックは、基板の受け渡しを行う受け渡し位置と、基板の露光を行う露光位置とを移動する。ギャップ検出手段は、チャックが受け渡し位置から露光位置へ移動する間、チャックに固定された基板と露光位置にあるマスクとの間隔を検出する。ギャップ設定手段は、チャックが受け渡し位置から露光位置へ移動する間、ギャップ検出手段の検出結果に基づいて、チャックを上下して基板とマスクとの間隔を制御する。

請求項（抜粋）：

基板の受け渡しを行う受け渡し位置から上記基板を処理する処理位置に上記基板を移動させる際に、上記基板と上記処理位置にあるマスクとの間のギャップを検出し、検出された上記ギャップに基づいて、上記基板と上記マスクとの間のギャップを制御するようにしたことを特徴とするプロキシミティギャップ制御方法。

IPC (2件)：

G03F 7/20 501 ,  G03F 9/00

FI (2件)：

G03F 7/20 501 ,  G03F 9/00 Z

Fターム (6件)：

2H097BA10 ,  2H097DB07 ,  2H097GA45 ,  2H097KA03 ,  2H097KA29 ,  2H097LA12

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭63-318737
  
• プロキシミティー露光装置、およびプロキシミティー露光装置におけるギャップ調整方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-366831   出願人：大日本印刷株式会社
• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-181329   出願人：三菱電機株式会社
• 特開昭63-307729