特許

J-GLOBAL ID：200903097358293645

酸化亜鉛系透明導電膜及びそれを用いた液晶ディスプレイ並びに酸化亜鉛系スパッタリングターゲット

発明者： 内海 健太郎 ,  飯草 仁志 ,  満 俊宏 ,  鈴木 祐一
出願人/特許権者： 東ソー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-105220
公開番号（公開出願番号）：特開2007-280756
出願日： 2006年04月06日
公開日（公表日）： 2007年10月25日
要約：

【課題】低抵抗率で、かつ、耐熱性に優れ、耐薬品性が良好な酸化亜鉛を母材とする透明導電膜を提供する。【解決手段】アルミニウム添加酸化亜鉛(ZAO)にガリウムを添加した透明導電膜で、アルミニウムの含有量をAl/(Zn+Al+Ga)の原子比で2%を超え6%未満、かつガリウムの含有量をGa/(Zn+Al+Ga)の原子比で0.1%を超え1.0%未満とすることにより、低抵抗率で、かつ、耐熱性に優れ、耐薬品性が良好な透明導電膜を得ることができる。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

亜鉛、アルミニウム、ガリウムおよび酸素からなり、アルミニウムがAl/(Zn+Al+Ga)の原子比で2%を超え6%未満の割合で含有され、かつガリウムがGa/(Zn+Al+Ga)の原子比で0.1%を超え1.0%未満の割合で含有されていることを特徴とする透明導電膜。

IPC (4件)：

H01B 5/14 ,  C23C 14/34 ,  C04B 35/453 ,  G02F 1/134

FI (4件)：

H01B5/14 A ,  C23C14/34 A ,  C04B35/00 P ,  G02F1/1343

Fターム (22件)：

2H092GA11 ,  2H092GA12 ,  2H092HA02 ,  2H092HA03 ,  2H092HA04 ,  2H092JB01 ,  4G030AA26 ,  4G030AA32 ,  4G030AA36 ,  4G030BA02 ,  4G030BA15 ,  4K029AA09 ,  4K029BA49 ,  4K029BC09 ,  4K029CA05 ,  4K029DC05 ,  4K029DC34 ,  4K029DC39 ,  4K029EA01 ,  5G307FA01 ,  5G307FB01 ,  5G307FC06

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開H02-149459号公報
  
• 特開H11-236219号公報
  
• 特開H11-256320号公報
  

審査官引用 (4件)

• ZnO系焼結体およびその製法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-038706   出願人：住友金属鉱山株式会社
• 特開昭62-157618
  
• 酸化亜鉛系透明電極
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-311130   出願人：株式会社トクヤマ
• 特開昭62-157618