特許
J-GLOBAL ID：200903097375021870
処理方法及び処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金坂 憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-365128
公開番号（公開出願番号）：特開2003-168648
出願日： 2001年11月29日
公開日（公表日）： 2003年06月13日
要約：
【要約】【課題】 信頼性の向上を図る。【解決手段】 被処理体wを収容して所定の処理を施す処理容器3に各種のガスを所定流量で供給する流量制御器81,82,83を有する複数のガス供給配管91,92,93と、所定の圧力に真空引き可能な排気配管12とが接続されている。ガス供給配管91,92,93に処理容器3をバイパスして排気配管12と連通するバイパス配管19を設け、バイパス配管19の下流側に圧力計20及び封止弁21を順に設け、校正された流量制御器81,82,83の取付後にバイパス配管19を真空引きして封止弁を閉じて封止した後、ガス供給配管91,92,93から固定された流量のガスを導入しながら圧力計20により圧力上昇値ΔPと推移時間ΔTを各ガス供給配管91,92,93毎に測定して初期値として記憶し、所定期間使用後に測定した測定値と前記初期値とを比較して流量制御器81,82,83が正常か否かを監視する。
請求項（抜粋）：
各種のガスを所定流量で供給する流量制御器を有する複数のガス供給配管と、所定の圧力に真空引き可能な排気配管とが接続された処理容器に被処理体を収容して所定の処理を施す処理方法において、前記ガス供給配管に処理容器をバイパスして前記排気配管と連通するバイパス配管を設け、該バイパス配管の下流側に圧力計及び封止弁を順に設け、校正された流量制御器の取付後にバイパス配管を真空引きして前記封止弁を閉じて封止した後、ガス供給配管から固定された流量のガスを導入しながら前記圧力計により圧力上昇値と推移時間を各ガス供給配管毎に測定して初期値として記憶し、所定期間使用後に測定した測定値と前記初期値とを比較して流量制御器が正常か否かを監視することを特徴とする処理方法。
IPC (2件)：
H01L 21/205
, C23C 16/455
H01L 21/205
, C23C 16/455
4K030EA03
, 4K030JA05
, 4K030JA09
, 4K030JA10
, 4K030KA11
, 4K030KA41
, 5F045BB08
, 5F045EE04
, 5F045GB15
