光接続部品

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-258155
公開番号（公開出願番号）：特開平10-104472
出願日： 1996年09月30日
公開日（公表日）： 1998年04月24日
要約：

【要約】【課題】熱膨張係数の差に起因して生じる、光ファイバとの接続部の位置変動、接続損失等の増大を抑制する。【解決手段】搭載されるLN光変調素子6と同じ熱膨張係数を有するベース基板1としてのLN基板と、光素子搭載用基板2としてのシリコン基板とを表面活性化接合法により接合した。光ファイバ設置用のV溝3A,3Bと、LN光変調素子6を搭載する搭載部4は、異方性エッチング法により形成した。シリコン基板のほぼ中央部には、D方向に沿ってシリコン基板の搭載部4が2つに分割され搭載部4A,4Bとなるように、分割溝5を形成した。

請求項（抜粋）：

搭載すべき光素子の熱膨張係数と略等しい熱膨張係数を有するベース基板と、該ベース基板上に載置固定される光素子搭載用基板とからなり、該光素子搭載用基板は中央に光素子搭載部、両端側に光素子に結合すべき光ファイバ設置用のV溝が形成されており、かつ光素子搭載部に分割溝が設けられていることを特徴とする光接続部品。

IPC (6件)：

G02B 6/42 , H01L 31/0232 , H04B 10/14 , H04B 10/135 , H04B 10/13 , H04B 10/12

FI (3件)：

G02B 6/42 , H01L 31/02 C , H04B 9/00 Q

引用特許：

出願人引用 (9件)

光導波路モジュールとその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-070682 出願人：株式会社フジクラ
特開平2-006395
特開昭62-265776

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審査官引用 (6件)

特開平3-134604
光導波路モジュールとその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-070682 出願人：株式会社フジクラ
特開平2-006395

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