超純水の製造方法及び装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：重野剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-190359
公開番号（公開出願番号）：特開平9-038669
出願日： 1995年07月26日
公開日（公表日）： 1997年02月10日
要約：

【要約】【課題】効率的なTOC分解を行って、極めて高純度な超純水を製造する。【解決手段】 pH3.5〜5の水にO3 注入及びUV照射を行ってTOCを分解する。【効果】 pH3.5〜5の酸性領域でO3 注入及びUV照射を行うことにより、TOCを効率的に分解して極低濃度にまで低減することができる。

請求項（抜粋）：

水にオゾン注入及び紫外線照射を行ってTOCを分解する工程を有する超純水の製造方法において、オゾンを注入する水のpHを3.5〜5に調整することを特徴とする超純水の製造方法。

IPC (5件)：

C02F 1/72 101 , C02F 1/32 , C02F 1/42 , C02F 1/44 , C02F 1/78

FI (5件)：

C02F 1/72 101 , C02F 1/32 , C02F 1/42 A , C02F 1/44 J , C02F 1/78

引用特許：

出願人引用 (2件)

審査官引用 (3件)

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