特許
J-GLOBAL ID：200903097410325704
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
最上 健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-041424
公開番号（公開出願番号）：特開平8-211079
出願日： 1995年02月07日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：
【要約】【目的】 画像メモリの規模を変えずに、高分解能で高精度に測定できるSPMを提供する。【構成】 チューブスキャナ1上に固定したステージ2上に載置した試料3に近づけて配設したカンチレバー4と、カンチレバー4の変位を検出するカンチレバー変位センサ5と、カンチレバー変位センサ5の出力を入力してチューブスキャナ1をZ方向に駆動すると共にサンプリング部9にZ変位信号を入力するZスキャンドライバ6と、サンプリング部9でサンプリングされたZ変位信号を保存する画像メモリ10と、保存したZ変位信号を表示するCRT11aと、CRT11a上において測定したい部分を横切ると2点A,Bを指示し、2点A,Bの座標を受け取り、チューブスキャナ1をXY走査するスキャンコントローラ7aに指示する測定点指示部12とでSPMを構成する。
請求項（抜粋）：
試料とセンサ系とを相対的に水平方向に走査させるスキャナと、該スキャナを駆動するスキャナ駆動手段と、前記スキャナの走査面に対して鉛直方向へ試料とセンサ系間の距離を相対的に変化させる鉛直方向移動手段と、前記センサ系の出力又は前記鉛直方向移動手段の移動量を、スキャナの水平方向の移動量に対応させて、サンプリング値としてサンプリングするサンプリング手段と、該サンプリング手段のサンプリング値を記憶する記憶手段と、該記憶手段に記憶されているサンプリング値を表示する表示手段とを有する走査型プローブ顕微鏡において、前記スキャナ駆動手段を、試料の測定所望部分を含む領域を前記スキャナが走査するように駆動させる第1のステップと、該第1のステップにおける前記領域より小さい前記測定所望部分のみの領域を指示して、該領域を前記スキャナが走査するように駆動させる第2のステップとを実行させる制御手段と、前記第1のステップ及び第2のステップにおいて前記サンプリング手段によりサンプリングされるサンプリング値の総量を同等量に設定する手段とを備えていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 37/28
