特許
J-GLOBAL ID：200903097451050256
ガス中の水分濃度測定方法及び装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木戸 一彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-292488
公開番号（公開出願番号）：特開2001-116724
出願日： 1999年10月14日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：
【要約】【課題】 水分測定時間の短縮と装置の小型化とが図れ、高精度で極微量の水分量を測定することができるガス中の水分濃度測定方法及び装置を提供する【解決手段】 サンプリング配管に吸着されている水分を脱着除去する工程と、所定温度に冷却したサンプリング配管に被測定ガスを導入してガス中の水分をサンプリング配管の内表面に吸着させる水分吸着工程と、サンプリング配管内を真空引きして被測定ガスを排出する排気工程と、サンプリング配管を所定温度に加熱して該配管の内表面に吸着している2分子層以降の水分を脱着させる工程と、該脱着した水分を質量分析計に導入して測定する工程とを行う。
請求項（抜粋）：
配管内表面の水分の吸脱着を利用して被測定ガス中の水分濃度を測定する方法であって、サンプリング配管に吸着している2分子層以降の水分を脱着除去する水分除去工程と、所定温度に冷却したサンプリング配管に被測定ガスを導入して該ガス中の水分をサンプリング配管の内表面に吸着させる水分吸着工程と、サンプリング配管内を真空引きして被測定ガスを排出する排気工程と、サンプリング配管を所定温度に加熱して該配管の内表面に吸着している2分子層以降の水分を脱着させる水分脱着工程と、該脱着した水分を質量分析計に導入して測定する分析工程とを含むことを特徴とするガス中の水分濃度測定方法。
IPC (3件)：
G01N 27/62
, G01N 1/00 101
, G01N 1/22
G01N 27/62 V
, G01N 27/62 F
, G01N 1/00 101 R
, G01N 1/22 L
