特許
J-GLOBAL ID：200903097459237320
微小構造体の製造方法および製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平田 忠雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-319510
公開番号（公開出願番号）：特開平11-151754
出願日： 1997年11月20日
公開日（公表日）： 1999年06月08日
要約：
【要約】【課題】 積層方向の解像度が高く、積層時間の短縮化を図った微小構造体の製造方法および製造装置を提供する。【解決手段】 基板31上には、同一のセルC内に同一の断面形状を有するM個の薄膜34を形成するとともに、第1層〜第N層のN個のセルC1 〜C16を所定のピッチで形成している。ステージの直下に基板31上の第1層のセルC1 を移動させ、第1層のセルC1 からM個の薄膜34を剥離し、この剥離したM個の薄膜34をステージ上に積層して接合させる。基板31を所定のピッチで移動させ、次に積層する第2層のセルC2 をステージの直下に位置させる。この工程を繰り返すことにより、N層の薄膜34からなるM個の微小構造体30A,30B,30C,30Dが同時に製造される。
請求項（抜粋）：
微小構造体の断面形状を有する複数の薄膜を順次積層して前記微小構造体を製造する方法において、基板上に前記複数の薄膜を所定のピッチで形成する第1の工程と、前記基板と前記複数の薄膜が積層されるステージとを相対的に前記所定のピッチで移動させつつ、前記基板から前記薄膜を剥離し、この剥離した前記薄膜を前記ステージ上に積層して接合させ、前記ステージ上に前記微小構造体を形成する第2の工程とを含むことを特徴とする微小構造体の製造方法。
引用特許：
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