特許
J-GLOBAL ID：200903097467107797
フラッシュランプ光照射装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
五十畑 勉男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-190056
公開番号（公開出願番号）：特開2005-026440
出願日： 2003年07月02日
公開日（公表日）： 2005年01月27日
要約：
【課題】コンデンサを含めた電源部から発生する油分や発煙などがプロセス処理施設にある半導体基板やフラッシュランプへ付着する恐れがないフラッシュランプ光照射装置を提供すること。【解決手段】複数のフラッシュランプと少なくとも1つの反射ミラーとからなる光照射部と、該複数のフラッシュランプに対して発光エネルギーを供給する複数のコンデンサを有し該コンデンサに対して充電電流を供給する共通の充電回路を具備した給電部を有するフラッシュランプ光照射装置であって、前記光照射部は、空調装置から供給された清浄エアが天井面から吹き出し、床面あるいは側面下方から排気する下向流型のクリーンルーム内に設置され、前記給電部は該クリーンルーム外であって、該クリーンルームから排気されるエアの下流側の階下、または前記光照射部と独立した給排気系設備内に設置されてなるフラッシュランプ光照射装置とする。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
複数のフラッシュランプと少なくとも1つの反射ミラーとからなる光照射部と、
該複数のフラッシュランプに対して発光エネルギーを供給する複数のコンデンサを有し、該コンデンサに対して充電電流を供給する共通の充電回路を具備した給電部を有するフラッシュランプ光照射装置であって、
前記光照射部は、空調装置から供給された清浄エアが天井面からクリーンルーム内に吹き出し、クリーンルームの床面あるいは側面下方から排気する下向流型のクリーンルーム内に設置され、
前記給電部は該クリーンルーム外であって、該クリーンルームから排気されるエアの下流側の階下、または前記光照射部と独立した給排気系設備内に設置されてなることを特徴とするフラッシュランプ光照射装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (2件)：
引用特許：
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